平行光檢查燈光源的選擇：
白光：刮傷以及對不同層次的鍍膜均勻或微污染有很好的效果。
綠光：微刮傷、粉塵異物、Mura，檢查燈，70%以上的表面不良都可以被檢出。尤其是表面的微刮傷。
黃光：微刻模具、半導(dǎo)體晶圓、藍(lán)寶石。模擬全波段的鹵素光源，對鍍膜檢查效果不錯。
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